真空室

降

真空真空

复合复合泵泵，

极限

≤6.67x10 ^-5 pa（经经除气）

威斯尼斯人615cc棋牌恢复真空

40分钟分钟达到6.6x10 ^-4Pa

（系统系统时间暴露并燥氮气抽气）

磁控磁控

威斯尼斯人615cc棋牌永磁靶4套φ60mm（其中其中个可以溅射材料）

40-80mm可调

主溅射主溅射

引出栅φ30mm离子束0.4-2.0kev连续

威斯尼斯人615cc棋牌辅助沉积

引出栅：φ30mm离子束：0.4-1.5kev连续连续：1-3ma/cm2

气路

质量质量流量流量

计算机计算机

控制 、四四转靶 、样品 、样品 、样品样品

15536_15542

主机

1300X850mm²

电控柜

700X700mm²（两两）