结构

真空室真空室采用

真空室

500x500 x600mm

真空真空

复合复合泵机械

极限

≤6.67x10 ^-5 pa（经经除气）

恢复恢复

45分钟分钟6.67x10 ^-4Pa

电子电子

E型

阳极：6KV、8KV

威斯尼斯人615cc棋牌数量（套）

1

坩埚

水冷水冷，四穴，每，11ml

功率

0-6KW

工件工件类型

基片：可可可可可基片基片基片加热加热800°C±1°C基片基片 ，转速5-60转/分基片/分基片与之间之间之间之间300-350mm可调可调可调控制控制挡板挡板

气路

质量质量流量控制器

石英晶石英晶

监测：0-99μ99999Å