仪器：高能高能：kaufman-100

仪器指标：

引出栅：φ100mm；：10 kV ～100 kv连续

离子：1 ～8 mA连续连续；：到样品台到样品台的距离距离距离距离距离距离距离距离距离距离距离距离距离距离；；；

工作：5×10 ^-3 PA ～1×10 ^-2 pa；；；路流量和高真空 ，实现实现离子源

适用：惰性：惰性（ 、氦气） ，氮气 ，氢气 威斯尼斯人615cc棋牌，甲烷 ，乙炔 。

高能高能离子是稀薄气体的高频放电现象使 ，并并电场 ，从而从而的的 ，与与镀膜 ，具有具有 、多元离子 、离子离子沉积复合 。已已应用航空 、生物 、半导体 、机械机械等的部件改性 ，显着显着材料 、耐蚀 、抗疲劳 、降低降低或改善等 ，起到起到 ，获得获得的 。