真空室

圆筒型圆筒型

真空真空

复合复合，泵

磁控磁控

永磁靶3

威斯尼斯人615cc棋牌靶材φ60mm（其中其中个溅射磁性材料）

各各溅射溅射

三三靶靶同折向上面的 ， 90-110mm可调

当当向上 ， 40-80mm可调

单机片单机片

基片

基片基片与 ，取下取下可以

样品

φ30mm

加热

600°C±1°C

基片基片

-200V

气路

质量质量流量2

计算机计算机

控制控制转动挡板，靶位